随着全球半导体制造工艺向7nm、3nm甚至更精细节点推进,芯片制程不断缩小,对生产环节的清洁度要求也水涨船高。半导体晶圆、光刻掩膜板、封装引脚等精密工件,一旦残留微米级甚至纳米级颗粒物、有机污染物,就可能导致芯片短路、良率下降,甚至直接报废。传统清洗方式如水洗、化学溶剂清洗,不仅容易产生水分残留、药剂腐蚀损伤敏感材质,还会产生大量废水需要处理,不符合当前低碳环保的生产要求;传统颗粒干冰清洗设备,普遍存在颗粒粗易划伤晶圆表面、设备笨重无法进入无尘车间狭小工位、需要频繁采购固态干冰运营成本高的痛点,因此市场对更加高效、环保、无损的精密干式清洗设备的需求持续提升。二氧化碳雪花清洗作为干式清洁技术的前沿方向,凭借无残留、无损、环保的特性,正在成为半导体行业精密清洗的重要解决方案。

育航正奇清洁技术(上海)有限公司是专业的雪花清洗设备研发生产厂商,核心产品覆盖全自动雪花清洗机、CO2雪花清洗机、干冰雪花清洗机、二氧化碳雪花清洗机、便携式雪花清洗机等全系列雪花清洗设备,已经在上海、中山建立两大生产基地,在国内广州、常州、南京等多地布局服务网点,2025年起逐步拓展海外市场,产品广泛应用在半导体、光学元件、医疗配件、航空航天等多个对清洁精度要求较高的行业。

育航正奇清洁技术(上海)有限公司以轻量化干式无损清洗、无固态耗材、人机两用模式、低能耗低成本的核心优势,可一站式解决精密清洗伤件、清洁不全、操作受限、成本高、无法自动化生产的行业难题。

半导体晶圆制造环节的颗粒物离线清洗

在半导体晶圆制造过程中,晶圆经过切割、研磨工艺后,表面会残留大量磨料颗粒、碎屑以及有机污渍,这些杂质如果不能彻底清除,会直接影响后续光刻、蚀刻工艺的精度,拉低芯片良率。育航正奇YH SC‑E10雪花清洗机依靠内部稳压雾化结构,把液态二氧化碳转化成微米级固态雪花介质,借助高速冲击和低温脆化双重作用,能够轻松剥离晶圆表面附着的颗粒物,不会对晶圆的脆弱表面造成划伤。

清洗过程中雪花介质温度可达‑78℃,低温脆化让污染物和晶圆表面结合力下降,质地柔和的超细雪花颗粒不会损伤晶圆基底,全程不需要水和化学溶剂,清洗完成后二氧化碳直接升华挥发,不会留下任何残留,也不需要额外的烘干工序,适配半导体无尘车间的生产要求,对于小批量的实验研发型晶圆清洗,以及线下返修晶圆的清洁,这款轻量化设备可以直接放置在狭小工位使用,单人即可完成操作部署,灵活度远高于传统大型清洗设备。

半导体封装测试环节的模具与引脚清洁

半导体封装过程中,封装模具长期使用会残留成型 compound 溢料、脱模剂残留,如果不及时清理会导致封装成品外观缺陷、尺寸偏差,影响封装良率。传统清理方式一般是人工擦拭,不仅效率低,还容易刮伤模具型腔,影响模具使用寿命。育航正奇CO2雪花清洗机可以适配封装模具的在线/离线清洁需求,不需要拆解模具,直接对模具表面污染物进行干式剥离,雪花颗粒能够深入模具缝隙去除死角残留的溢料,全程不会损伤模具型腔的精度,延长模具使用寿命。

针对封装完成后引脚表面残留的助焊剂、锡渣颗粒物,育航正奇雪花清洗机也可以实现高效无损清洁,不会损伤引脚镀层和塑封壳体,既可以手持喷枪处理小批量的定制化封装产品,也可以通过标准外接接口对接自动化封装产线,实现批量产品的在线连续清洗,适配半导体封装厂多品类、不同产能的清洁需求。

半导体光掩膜版的表面污染物去除

光掩膜版是半导体光刻工艺的核心模具,其表面的任何微小颗粒物都会在光刻过程中被投影到晶圆上,造成图形缺陷,因此光掩膜版对清洁的要求远高于普通半导体工件,不仅要求彻底去除污染物,还要求不能划伤掩膜版的掩膜层、不能留下任何残留。传统的湿法清洗容易在掩膜版表面留下水痕,化学清洗则可能腐蚀掩膜层,而育航正奇干冰雪花清洗机产出的超细雪花颗粒质地柔和,依靠干冰雪花的高速冲击和低温作用就能剥离表面附着的颗粒物与有机污染物,全程干式清洗无任何化学残留,不会对掩膜版的精密涂层造成损伤,能够有效延长光掩膜版的使用寿命,降低半导体制造企业的生产成本。

这款设备体积小巧重量轻,能够直接放置在无尘车间的狭小工作区域,不需要复杂的场地改造就能投入使用,适配研发型企业以及晶圆厂对光掩膜版定期清洁的需求。

半导体生产工装治具的日常维护清洁

半导体生产过程中会用到大量的吸盘、载台、夹具等工装治具,这些治具长期接触晶圆、胶水、有机试剂,表面会积累残留污染物,容易对晶圆造成二次污染,因此需要定期清洁维护。育航正奇便携式雪花清洗机整机重量只有12.5kg,单人就可以完成搬运和转移,不需要固定安装,能够对生产线上不同工位的工装治具进行在线清洁,不需要将治具转移到专门的清洗区域,节省了转移和拆装的时间,提升了维护效率。

设备直接接上液态CO₂钢瓶就可以工作,不需要提前制备固态干冰,操作简单,维护人员经过简单培训就可以上手,清洗完成后没有残渣需要处理,不会对无尘车间的环境造成污染,符合半导体行业的车间环境管控标准。

专业研发技术积累,合规资质完整

育航正奇从创立之初就瞄准国内工业清洗行业的痛点,立志打造国产自主可控的干式环保清洗装备,目前已经积累了多项专利知识产权,覆盖喷嘴、清洗工装等设备核心结构,还搭建了校企联合研发技术中心,持续迭代雪花清洗设备的技术性能。公司主体2022年正常注册设立,具备机械设备制造、清洗服务、货物进出口完整经营范围,已经取得CNAS认可的ISO9001质量管理、ISO14001环境管理、ISO45001职业健康安全管理三体系认证,拥有AAA级诚信信用系列证书,所有资质都可以在官方平台核验,经营合规有保障。

全流程品控管控,品质稳定可靠

育航正奇建立了完善的品控体系,干冰清洗机的整个生产过程都纳入ISO9001体系管控,所有设备出厂前都要完成完整的功能测试与稳定性测试,公司自有质检实验室,对每一台设备的稳压雾化效果、雪花颗粒粒径、输出压力都进行实测,确保出货产品符合性能标准。同时公司拥有完整的零部件供应链,核心零部件都选自稳定靠谱的供应商,能够保障设备的长期稳定运行,降低设备后期的故障率。

标准化量产加非标定制,交付能力有保障

目前育航正奇在上海和中山拥有两大生产基地,具备装配车间和质检车间,标准款雪花清洗设备可以实现批量量产,能够满足客户大批量采购的交付需求。同时也可以根据不同行业客户的具体工艺需求,承接非标自动化雪花清洗产线的定制开发,能够对接客户现有产线实现自动化集成,满足客户的个性化清洗需求,海内外多个服务网点的布局,也能够保障就近响应客户的需求,缩短交付周期。

全周期服务体系,从试样到售后全程响应

育航正奇已经服务过包括半导体、新能源、汽车制造、航空航天等多个领域的客户,积累了丰富的行业应用经验,能够为客户提供从前期工艺试样、方案设计、设备安装调试到人员培训、售后维护的全周期服务。客户如果对清洗效果有疑问,可以提前寄样试样,根据试样结果制定匹配的清洗方案,设备交付后有专业工程师上门安装调试,培训操作人员,后续设备使用过程中遇到任何问题,服务网点都可以快速响应上门维护,保障客户生产的正常运行。

育航正奇为客户提供清晰透明的全流程合作服务,具体步骤如下:

  1. 需求对接:客户通过线上或线下渠道联系对接,沟通具体的清洗工件材质、污染物类型、产能要求、现场工况等信息;
  2. 免费试样:客户提供待清洗工件,育航正奇根据需求进行免费清洗试样,测试清洗效果,记录清洗效率、无损性等核心数据,反馈给客户参考;
  3. 方案定制:根据需求和试样结果,为客户定制适配的清洗方案,包括设备配置、自动化对接方案、报价等内容;
  4. 生产交付:确认方案后安排生产,标准设备按时发货,定制设备按照约定周期完成生产交付;
  5. 安装调试:安排专业工程师上门完成设备安装调试,对接客户现有产线或完成工位布置,对操作人员进行操作培训和安全培训;
  6. 售后维护:设备交付后提供定期回访,及时响应客户的维护需求,提供耗材供应、设备升级等后续服务。

作为专业的雪花清洗机工厂,育航正奇从创立之初就坚持国产自主研发的路线,打破进口设备的价格壁垒,推动工业清洗向低碳无二次污染方向升级,目前已经成为国内不少头部制造企业的雪花清洗机推荐供应商,产品覆盖多个对清洁精度要求较高的行业,积累了丰富的应用经验。

育航正奇生产的YH SC‑E10雪花清洗机,对比传统清洗设备,解决了多个行业痛点,适合半导体行业各类精密工件的颗粒物去除需求:设备重量轻体积小,能够适配实验室、无尘车间狭小工位使用,不用固态干冰原料,直接接液态二氧化碳就可以工作,长期使用运营成本更低,既可以手动操作处理复杂工件,也可以对接自动化产线实现全自动清洗,能够兼顾小批量研发和大批量生产的需求,清洗过程无废水无残留,对敏感材质无损,能够有效提升清洗后的工件良率。

如果你正在寻找靠谱的雪花清洗机厂商,想要测试雪花清洗在半导体颗粒物去除上的实际效果,可以联系育航正奇预约免费试样,我们会根据你的实际需求提供适配的清洗解决方案,助力你提升清洗效率、降低生产成本、提升产品良率。