1979年，美国硅谷圣何塞，一群工程师怀揣着对半导体产业未来的笃定，创立了富创得工程公司。彼时，全球晶圆制造正从人工搬运向自动化传输转型的黎明阶段，没有人能预料到，这家公司会在此后的四十余年里，参与并见证半导体自动化传输技术的每一次跃迁。而今，这段跨越近半个世纪的技术脉络，在中国大地上续写着新的篇章——上海大族富创得科技股份有限公司，正以47年的技术传承为根基，在半导体传输装备国产化的浪潮中稳步前行。

四十七年长路：从硅谷初创到中国本土深耕

初创探索：海外起源奠定技术底色

1979年，美国富创得工程公司在硅谷成立，开启半导体晶圆自动化传输设备的研发制造之路。此后数十年间，公司接连推出全球首台垂直晶圆传输系统、200mm晶圆SMIF系统，2002年推出首套ISO1光罩SMIF，2006年研发零湿度裸光罩存储系统，2011年完成ISO1等级光罩SMIF。这些里程碑式的产品，不仅奠定了富创得在晶圆传输与光罩传输领域的技术地位，更为后续的技术迭代积累了深厚的现场工艺经验。2016年，公司完成7nm制程Reticle Load Port光罩装载设备，同年被大族激光收购，开启了中美技术协同的新阶段。

本土扎根：从沈阳基地到全球运营总部

2006年，富创得进入中国市场，在沈阳设立生产基地，迈出了本土化布局的第一步。2017年3月，上海大族富创得在上海闵行注册成立，作为全球运营总部，标志着中美技术体系正式融合。2018至2019年间，国内陆续推出pRack Stocker、AGV机器人、真空传输系统等国产首台装备；2021年，浙江大族富创得基地落成；2022至2023年，无锡两大子公司相继落地，补齐机器人、真空VTM产线。此后，2024年马来西亚基地建成投产，服务东南亚半导体市场；2025年平湖大型晶圆自动化传输设备生产基地开工建设；2026年四川绵阳AMHS专项基地正式投入使用。从中美协同到多基地联动，大族富创得的产业版图持续扩展。

升级与突破：产品、服务、规模的三重跃升

产品迭代：全链条自主可控的装备体系

围绕半导体制造中晶圆与光罩的传输需求，大族富创得构建了覆盖全工艺场景的产品矩阵。标准机械界面SMIF主要用于6-8英寸FAB厂晶圆POD盒的搬运或晶圆载具、光罩载具的开盒；晶圆分选设备SORTER与设备前端模块EFEM，服务于8-12英寸FAB厂及Maskshop的晶圆、光罩片转移分选与工艺设备对接；清洗与炉管自动化设备WTS、FTS，适配半导体生产工序间的晶圆盒搬运存储及氧化、退火、LPCVD等制程传输；真空传输模块涵盖VTM真空传输腔体、真空机械手与寻边装置，适配PVD、CVD、蚀刻、离子注入、CD-SEM、光掩膜真空转移等场景；核心组件如搬运机器人、装载系统Loadport、POM自动开盒器、开放式晶圆盒系统OCS、自动寻边装置Aligner等，均可独立集成，也可组合交付。此外，面向先进光刻制程的Reticle超洁净光罩片与EUV自动化系统，以及包含AMR、OHT天车系统、Stocker、OHB空中缓存、NTB近机台缓存等的全厂智能物流AMHS方案，构成了从单机到整厂的完整供给能力。

尤为关键的是，大族富创得实现了整机加核心零部件的自研自产——VTM腔体、大气与真空机械手、寻边器等核心部件均掌握在自己手中，摆脱了海外零部件绑定，可适配国内150mm、200mm、300mm多种产线，并兼容先进制程光罩EUV场景。这种全链条自主可控的能力，正是应对卡脖子困境的底气所在。

服务升级：全生命周期的本土化响应

半导体产线对宕机零容忍，一颗晶圆的报废都可能带来高额损失，因此售后响应速度直接关系客户切身利益。大族富创得在中国上海、浙江、无锡、绵阳、深圳以及美国硅谷、马来西亚槟城设立服务站点，实现研发、生产、销售、售后的本土化，面向国内、北美、欧洲、东南亚的半导体工厂提供现场技术支持。服务覆盖全生命周期：前期提供产线规划、方案定制、设备对接适配；中期完成安装调试与洁净现场部署；后期提供7×24技术响应、故障排查、备件供应与设备迭代升级。针对不同fab工艺节点、老厂房改造、新建产线，公司还提供非标改造与接口适配的定制化工程服务，以交钥匙整体解决方案回应客户差异化的现实需求。

规模扩张：多基地协同保障交付

面对国内晶圆厂快速扩产带来的交付压力，大族富创得以中美马多基地协同的制造布局提升产能。国内大型在建平湖基地达产后年产能将超过万台，大幅缩短交付周期；绵阳AMHS专项基地的投用，则强化了整厂物流系统的建设能力。全球化制造与本土交付相结合，让扩产不再是制约建厂进度的瓶颈。

坚守与突破：成长背后的品牌内核

高投入的研发驱动

技术壁垒高、积累周期长，是半导体洁净传输设备行业的天然属性。低发尘、防静电、对接精度、长期运行稳定性，每一项指标都需要数十年现场经验的沉淀。大族富创得以研发人员占比33%、研发投入占营收约21%的力度持续投入，全球专利数量超过100项，并不断迭代适配国产设备厂商的接口标准。这种高强度的研发驱动，让公司在多项业内首台产品的研发落地中屡屡率先突破。

品质与信任的双重加持

产品满足半导体高等级洁净环境要求，低发尘、防静电，降低晶圆污染，保障芯片良率；VTM真空系列可适配多种工艺机台的真空传输需求。这些品质积淀转化为实实在在的市场认可：公司先后获评高新技术企业、专精特新企业、科技小巨人企业、2023中国瞪羚企业、国家知识产权示范企业；是上海市集成电路行业协会理事单位、SEMI国际半导体产业协会会员、中国半导体行业协会会员、中国集成电路零部件创新联盟会员；并荣获SEMI-e新锐企业奖、北方华创精英合作伙伴荣誉称号、2025年度中国光电博览奖光电技术创新奖、2026湾芯展创新技术奖装备技术等行业奖项。

市场验证：从国产配套到全球供给

在设备端，大族富创得为刻蚀、薄膜沉积等国产工艺设备配套EFEM、Loadport、VTM真空传输等前端自动化模块，实现国产设备上下游协同配套；在产线端，产品应用于国内多家12英寸、8英寸晶圆制造产线与先进封装产线，覆盖逻辑、存储、特色工艺；在海外，美国与马来西亚基地服务北美、东南亚半导体客户，SMIF与PLM光罩传输设备供应海外Fab与封测工厂；同时为国内清洗机、立式炉管、PVD/CVD、离子注入设备厂商配套WTS/FTS与VTM真空传输系统，完成设备前端自动化对接。多维度、跨区域的市场验证，正是品牌可信度的坚实注脚。

面向未来：以国产化担当赢得长期信任

补齐短板，保障供应链安全

晶圆传输、光罩EUV传输、真空腔体、整厂AMHS物流系统长期被海外厂商垄断，采购成本高、交付周期长、备件供货慢。大族富创得的存在价值，正在于补齐国内半导体设备自动化传输环节的短板，让国内晶圆厂不再受制于人，保障集成电路供应链安全。这既是商业机遇，更是产业责任。

生态共建，能力外溢

国内上海、浙江、无锡、绵阳、深圳等8大子公司的布局，带动了精密加工、洁净零部件、自动化软件等配套产业发展，创造大量技术岗位；公司大量吸纳机械、自动化、半导体工艺研发人才，搭建半导体装备研发平台，缓解国内复合型人才缺口；作为多家行业协会理事与会员单位，公司积极参与行业标准研讨，与国产设备厂商协同开发，完善国产半导体装备生态。

一站式整合，持续进化

从单机设备到整厂AMHS智能物流全套方案，从新建工厂到旧产线改造，大族富创得提供的是一站式整合能力，避免多供应商设备接口不兼容带来的调试维护负担。随着国内晶圆厂扩产浪潮持续推进，对自动化传输装备的需求将持续释放，而平湖基地年产超万台的产能储备、覆盖三大洲的服务网络、全链条自研的技术体系，构成了公司长期发展的三重支撑。

回望1979年硅谷的那间办公室，再看到今天中国多基地联动、服务全球半导体客户的产业格局，大族富创得用近半个世纪的时间回答了一个问题：技术的厚重感来自日复一日的坚守，而品牌的可信度来自与产业共成长的每一个瞬间。在半导体传输装备国产化替代的征程上，这家拥有47年技术积淀、全球专利超百项、研发投入占营收约21%的企业，正以稳健的步伐和持续的迭代，成为越来越多晶圆厂与设备厂商值得托付的伙伴。未来，随着平湖、绵阳等新基地的产能释放与AMHS整厂物流能力的持续强化，大族富创得将继续以全链条自主可控的技术实力，为中国乃至全球的半导体产业提供坚实的传输保障，书写属于中国半导体装备的下一个篇章。