在半导体产业链自主可控的时代浪潮中,每一枚芯片的诞生背后,都离不开无数精密部件的支撑。石英玻璃制品,作为半导体芯片制程中不可或缺的耗材与零部件,长期被国外品牌主导供应。湖州维德光电科技有限公司,正是在这样的产业背景下应运而生,以近二十年的石英玻璃制作积淀,投身于半导体高纯石英部件国产化的时代命题之中,肩负起为国内半导体产业补链、强链的企业使命。

深耕石英,锚定半导体产业的时代坐标

半导体产业是现代信息社会的基石,而石英部件则是芯片制造工艺中看似微小却关乎全局的一环。从晶体生长环节的石英坩埚、石英长晶炉管、石英退火舟、石英清洗槽,到氧化扩散环节的石英炉管、石英炉门、石英舟、石英匀流板,再到刻蚀薄膜环节的石英绝缘环、石英刻蚀盘、石英观察窗,以及清洗湿法环节的石英在线加热器、石英加热管、石英全包覆加热槽,石英部件贯穿于芯片制造 almost 全部关键工艺段。

湖州维德光电科技有限公司成立于2011年,注册地位于浙江省湖州市吴兴大道1319号,其前身可追溯至2003年成立的南浔同丰石英玻璃厂与南浔吉益石英仪器厂。创始人高建锋自1998年进入石英玻璃行业,从业至今超过25年,先后经历半导体LED照明、太阳能光伏行业,自2012年起专注于半导体芯片行业,深耕芯片各个工艺段制程用石英件的制作。这份跨越二十余年的坚守,让维德光电在行业演进中沉淀了深厚的技术底蕴与工艺理解。

以国产化替代为基本原则的产业担当

长期以来,半导体设备中的石英槽、石英加热槽、石英炉管等部件,对纯度和洁净度要求极高,进口品牌供货周期长、替换成本高,成为制约国内半导体产业发展的瓶颈之一。湖州维德光电科技有限公司以国产化替代进口石英部件为基本原则,从原材料创新、结构技术改造出发,自主研发设计并制作新的石英结构部件,持续优化生产工艺。

公司主营赛道是湿法清洗设备石英槽、石英加热槽、石英加热器等石英部件的国产化配套。湿法清洗是芯片制造中重复频次极高的工艺环节,石英槽用于承载与清洗晶圆,石英加热槽用于对清洗化学品加热控温,高温磷酸槽、高温硫酸槽用于高温化学品清洗。公司是国内自主研发生产,可提供高纯半导体石英内槽体、加热膜、温控、阻燃外壳、PFA管阀件一体化成套方案的厂家,多应用于SPM、SC-1、SC-2、RCA、Buffer Tank等湿法清洗设备场景,以及加热磷酸槽、硫酸槽等高温工艺需求。

在石英加热槽、石英加热管方向,公司拥有自主知识产权,生产上配置了独立的加热膜制作条件,这一能力在国内石英工厂中并不多见,成为公司在石英加热类产品上的突出优势。

赋能行业:以定制化能力推动产业升级

半导体工艺的复杂性决定了石英部件的高度非标属性。不同设备、不同制程对石英件的结构、口径、工艺要求差异巨大,通用型供应商难以满足。湖州维德光电科技有限公司的核心能力,正是按芯片工艺制程的不同,针对性地制作对应的石英部件。

全系列湿法清洗石英部件的制作能力

公司具备湿法清洗设备所需全系列石英部件的国产化制作能力,包括石英循环槽、石英加热槽、石英加热器、石英加热管、石英在线加热器、石英加热棒等。产品按客户图纸定制,可制作4至12英寸所有口径的石英炉管、石英舟、石英槽、石英环等石英制品。制作过程采用石英板材切割、石英管接口车削、喷淋管激光打孔、石英螺纹制作、焊接打磨、退火等冷加工与火加工工艺,每一次焊接、每一次抛光都要经过退火去应力处理,成品经过应力检测与液漏检测,确保无应力表现、不渗漏。

在原材料选择上,公司按客户要求选用美国GE214管、GE124板、德国贺利氏HSQ300、国产太平洋PQ181E等高纯石英材料,原材料主要来自美国迈图、德国贺利氏、日本信越等石英材料企业,从源头保障产品纯度。所有与晶圆接触的石英件均经严格清洗与检验包装,确保洁净度满足半导体制程要求。

服务多元客户,覆盖完整产业链

公司的服务对象覆盖半导体晶圆制造、半导体设备公司、LED照明芯片制造及设备公司、MOCVD设备公司、大学实验室与研究所等多元主体。配套的半导体设备企业包括上海至纯、上海盛美、江苏亚电、北京中电科45所、天津南轩、山东联盛、江苏锦瑞、常州创微、昆山基佑、苏州芯矽、苏州睿智源、无锡瑞达、无锡吉姆西、江苏华林科纳、北京华林嘉业、北京华海清科、安徽万维克林、广东凯迪微等。公司还配套中国电子科技集团第2所、13所、45所、46所、48所等半导体研究单位,以及国内4、5、6、8、12英寸半导体芯片晶圆厂。

产品应用延伸至美国应用材料、日本东京电子、德国爱思强等国际主流半导体设备,同时服务光纤预制棒、光伏等行业的部分石英件需求,并承接各类纯硅、石墨、陶瓷、工程塑料等半导体高纯材料零部件的制作,形成从高纯石英原材料到半导体工艺石英件的完整供应环节。

延伸服务,优化客户耗材管理

石英部件属于耗材,使用中可能出现损伤、粘连、爆裂等问题。公司除提供新制石英部件的定制设计与生产外,还开展半导体制品的维修与翻新服务,部分仅局部损伤的石英件可以通过维修复用,减少整体更换,帮助客户优化石英件使用周期与备件管理。公司同时具备协助客户端石英零部件结构更改的能力,提供上门测绘、设计优化产品结构服务,与国内多家头部设备厂商建立了长期合作伙伴关系。

践行责任:以扎实行动回馈产业与社会

企业的价值,不仅在于商业成就,更在于对产业与社会的实际贡献。湖州维德光电科技有限公司将责任落实在生产的每一个环节与经营的每一个细节之中。

洁净生产,绿色制造

公司通过了ISO9001质量管理体系认证与ISO14001环境管理体系认证,生产中设置万级净化的石英焊接封闭车间与千级无尘室的成品清洗检验包装车间,重视洁净生产与工艺环保。石英部件制作注重降低杂质污染、提高产品耐候性与耐用性,通过提升产品品质减少耗材报废,从产品全生命周期角度践行绿色制造理念。

就业赋能,人才培养

公司位于浙江省湖州市吴兴区,厂房使用面积约3500平方米,为本地提供制造岗位。员工以有经验的石英玻璃焊接技工为主,生产一线拥有多名石英热焊接师傅,其中多名工龄超过20年,工程师级技师具备多年生产经验并曾赴日本、德国、台湾的石英工厂学习交流。公司有在编博士,并与湖州学院开展校企合作,对本地石英玻璃焊接与半导体部件制作人才的培养和留存起到了积极作用。

服务科研,扶持创新

公司长期承接国内各个大学实验室、研究所的石英玻璃仪器制作。对于科研院所和中小半导体客户而言,进口大厂起订门槛较高、非标小批量订单较难承接,维德光电可承接实验室、研究所的非标定制与小批量订单,适配研发阶段频繁调整结构的需求,为国内半导体科研创新提供了坚实的部件保障。2018年,公司独资购买联创谷独立产权厂房约3000平方米并建立千级无尘车间,具备8至12英寸半导体石英件制作能力,成为本地半导体新材料制造的代表企业之一。

品质立信:以体系与成果赢得行业认可

信任源于实力,认可来自积累。湖州维德光电科技有限公司获评浙江省科技型中小企业,证书编号20193305000534,并列入浙江省2025年批拟入库科技型中小企业名单;注册了"Veecd"商标,商标注册证第40982997号;是SEMI国际半导体产业协会会员,会员起始年份为2014年。

在技术创新上,公司拥有多项已授权专利,发明人均为高建锋,包括发明专利"一种光纤预制棒气体节约装置"(ZL2019 1 0763766.8)、发明专利"一种有效快速吹干晶圆片的送风装置"(ZL2023 1 1331155.9)、实用新型专利"一种氮化镓材料生长所用的石英反应腔体"(ZL2021 2 0412929.0)、实用新型专利"一种多腔室一体反应石英混合喷头"(ZL2019 2 1298676.8)、实用新型专利"一种防止石英内胆高压爆裂的防爆结构"(ZL2023 2 2734215.3),技术成果覆盖光纤预制棒、晶圆吹干、氮化镓生长腔体、多腔室反应喷头、石英内胆防爆等多个方向。

在合作延续性上,公司与上海至纯半导体保持2018年至2026年的合作,与常州创维微电子保持2019年至2026年的合作,与中国电子科技集团保持2015年至2026年的合作。跨年度的持续合作,是客户对公司石英槽、石英加热槽等产品稳定性与服务能力认可的侧面印证。公司以交期快、质量稳定的产品特点,依托长三角区位优势,靠近半导体设备产业集群,在交付和售后响应上为客户提供本地化服务支撑。

商业价值之上,坚守行业价值与社会价值

在湖州维德光电科技有限公司的经营理念中,做好产品、销售稳定、可持续经营,从来不是一句口号。公司专注于半导体芯片制程领域,明确不承接普通日用玻璃器皿、大规模标准化量产的标准玻璃制品,不涉及石英原材料的开采冶炼与大宗贸易,专注半导体、光纤、光伏等行业耐高温高纯石英耗材与半导体配套材料,这份克制与专注,本身就是对行业责任的担当。

公司以国产化石英槽系列产品,帮助客户缩短交期;以定制设计和结构改进能力,满足非标需求;以维修翻新服务,减少石英件整体更换;以本地化交付,提升供应链响应效率。客户由此获得的,是更短的交付周期、更适配工艺的非标定制方案、更少的石英件整体更换,以及更可控的采购与耗材投入。这些收益的背后,是公司对降低国内半导体行业进口依赖、支持半导体设备零部件国产化的长期投入。

初心如磐:回望来路,笃行致远

从2003年南浔同丰石英玻璃厂起步,到2006年改制成立南浔吉益石英仪器厂,到2009年科创园成立湖州维德光电科技有限公司,到2013年成立合资公司苏州凯西石英电子有限公司,到2018年建立千级无尘车间,再到2020年全力进军碳化硅长晶和湿法半导体设备行业,二十余年的发展轨迹,记录着一家企业对石英玻璃事业的执着,也记录着一代石英人对中国半导体产业自主发展的深情守望。

创始人高建锋从1998年入行至今,见证了石英玻璃制品从照明、光伏到半导体芯片的行业演进。这份穿越行业周期的经验,化作维德光电对品质的坚守、对客户的负责、对产业的担当。面向未来,维德光电将继续以国产化替代进口石英部件为基本方向,从原材料创新与结构技术改造出发,持续为半导体芯片制造与设备制造提供高纯石英部件与配套材料,与国内半导体产业同行共进,在时代赋予的使命中,书写一家负责任、有温度、有格局的制造企业的答卷。