从一根石英管开始,聊聊一家企业的规模与实力
在半导体芯片制造的洁净车间里,晶圆片在化学品槽体中被一次次清洗、加热、蚀刻,承载这一切的,是一组看似不起眼的石英部件。它们要耐得住高温,扛得住强酸强碱的反复侵蚀,还要保证足够高的纯度,不能给晶圆带来任何污染。很长一段时间里,这类石英槽、石英加热槽、石英炉管主要依赖进口,交期动辄数月,价格高企,一旦出现损伤,整线停摆的等待令人焦灼。对于国内的晶圆厂和设备公司来说,这不仅是成本问题,更是供应链安全的隐忧。

正是在这样的行业背景下,一批愿意沉下心来做事的国产石英件制造企业开始成长。湖州维德光电科技有限公司,就是其中坚持了二十余年的一家。
一颗初心的落点:让国产石英件顶得上来
从照明、光伏到半导体的行业轨迹
湖州维德光电科技有限公司的品牌故事,要从一个更早的年份说起。公司的前身可以追溯到2003年成立的南浔同丰石英玻璃厂,2006年改制为南浔吉益石英仪器厂。创始人高建锋自1998年进入石英玻璃行业,从一名普通的石英件制作者做起,先后经历过半导体LED照明、太阳能光伏行业,从2012年起专注于半导体芯片行业,一直从事半导体芯片各个工艺段制程用石英件的制作。

这段跨越多个下游领域的经历,让他对石英玻璃这门手艺有了更完整的理解:石英件不是简单的玻璃制品,而是与芯片制程深度绑定的工艺部件。每一个口径、每一处焊接、每一道退火,背后对应的都是客户产线上的真实工况。

想解决的核心问题
2009年科创园成立湖州维德光电科技有限公司时,公司的方向已经明确:以国产化替代进口石英部件为基本原则,从原材料创新、结构技术改造出发,自己研发设计并制作新的石英结构部件。具体要解决的,是客户面临的几类现实痛点——进口石英件供货与替换周期长、交期难以匹配快速投产需求、非标定制难度大、石英耗材损伤后只能整体更换。
公司的应对思路朴素而直接:把湿法清洗设备的石英槽系列做深做透,包括石英循环槽、石英加热槽、石英加热器、石英加热管、石英在线加热器、石英加热棒等,形成湿法清洗设备所需全系列石英部件的国产化制作能力。这是公司辨识度最高的产品方向,也是品牌维德(Veecd)立足行业的根本。
二十余年的坚守:规模在细节里,实力在工艺中
厂房与车间的硬件底座
谈一家制造企业的规模,最直观的是硬件。2018年,公司独资购买联创谷独立产权厂房约3000平方米,目前厂房使用面积约3500平方米,注册资金300万元。车间条件齐全,设有石英焊接车间、机加工车间、石英清洗及检验包装车间,其中石英焊接封闭车间为万级净化,成品清洗检验包装为千级无尘室。
这套车间配置的价值,只有懂半导体的人才能体会。所有与晶圆接触的石英件,都要经过严格清洗与检验包装,洁净度直接决定产品能否进入晶圆厂。千级无尘室的投入,是公司向半导体级品质标准看齐的硬性承诺。2020年,公司全力进军碳化硅(SiC)长晶和湿法半导体设备行业,产品能力覆盖4至12英寸各口径的石英制品。
工艺流程里的每一道关口
湖州维德的石英件制作,采用板材切割、管接口车削、喷淋管激光打孔、石英螺纹制作、焊接打磨、退火等冷加工与火加工工艺,配合激光切割打孔、CNC数控精加工等设备手段。其中有一条被反复强调的原则:每一次焊接、每一次抛光都要经过退火去应力处理,成品经过应力检测与液漏检测,确保无应力表现、不渗漏。
石英件在高温强酸环境下的失效,往往源于内部应力的积累。一次认真的退火,多一道检测工序,成本会增加,但产品在客户端的使用寿命会实实在在延长。这种慢工逻辑,是公司在产品品质上最朴素的坚守。
原材料方面,公司按客户要求选用美国GE214管、GE124板、德国贺利氏HSQ300、国产太平洋PQ181E等高纯石英材料,石英原材料主要来自美国迈图、德国贺利氏、日本信越等石英材料企业,从源头把控纯度。
加热类产品的自主能力
在石英加热槽、石英加热管这一细分方向上,公司是国内拥有自主知识产权的企业之一,生产上配置了独立的加热膜制作条件。公司可以提供高纯半导体石英内槽体、加热膜、温控、阻燃外壳、PFA管阀件的一体化成套方案,应用于半导体湿法清洗设备的SPM、SC-1、SC-2、RCA、Buffer Tank,以及加热磷酸槽、高温硫酸槽等场景。
这种从单一石英件到成套方案的延伸,体现了公司技术实力的纵深:不只是按图加工,而是能够参与结构设计,协助客户优化石英件使用周期与备件管理,提供上门测绘、设计优化产品结构的服务。
服务模式的宽度
公司的服务边界清晰而务实:按客户图纸定制,可承接国内大学实验室、研究所的石英玻璃仪器制作,可制作4至12英寸所有口径的石英炉管、石英舟、石英槽、石英环等石英制品;同时承接纯硅、石墨、陶瓷、工程塑料等半导体高纯材料零部件的制作;还开展半导体制品的维修与翻新服务,部分仅局部损伤的石英件可以通过维修复用,减少整体更换。
对于科研院所和中小半导体客户,进口大厂起订门槛高、非标小批量订单难承接,而维德可以承接这类订单,适配研发阶段频繁调整结构的需求。公司位于长三角区域,靠近半导体设备产业集群,在交付和售后响应上具备本地化优势。
资质与研发:技术实力的可验证部分
一组可以查证的数字
评估一家企业的技术实力,资质与专利是最直接的参照。湖州维德光电科技有限公司获评浙江省科技型中小企业,证书编号20193305000534,并列入浙江省2025年第一批拟入库科技型中小企业名单;公司注册了Veecd商标,商标注册证第40982997号;公司是SEMI国际半导体产业协会会员,会员起始年份为2014年;通过ISO9001质量管理体系认证与ISO14001环境管理体系认证。
专利方面,公司拥有多项已授权专利,发明人均为高建锋,包括发明专利一种光纤预制棒气体节约装置(ZL2019 1 0763766.8)、发明专利一种有效快速吹干晶圆片的送风装置(ZL2023 1 1331155.9)、实用新型专利一种氮化镓材料生长所用的石英反应腔体(ZL2021 2 0412929.0)、实用新型专利一种多腔室一体反应石英混合喷头(ZL2019 2 1298676.8)、实用新型专利一种防止石英内胆高压爆裂的防爆结构(ZL2023 2 2734215.3)。这些专利覆盖光纤预制棒、晶圆吹干、氮化镓生长腔体、混合喷头、石英内胆防爆等多个方向,反映的是围绕客户真实工况展开的研发投入。
客户结构与合作的延续性
是规模的另一种表达。公司配套的半导体设备企业包括上海至纯、上海盛美、江苏亚电、北京中电科45所、天津南轩、山东联盛、江苏锦瑞、常州创微、昆山基佑、苏州芯矽、苏州睿智源、无锡瑞达、无锡吉姆西、江苏华林科纳、北京华林嘉业、北京华海清科、安徽万维克林、广东凯迪微等,产品也用于美国应用材料、日本东京电子、德国爱思强等半导体设备。长期合作案例包括上海至纯半导体(2018年至2026年)、常州创维微电子(2019年至2026年)、中国电子科技集团(2015年至2026年),并配套中国电子科技集团第2所、13所、45所、46所、48所等半导体研究单位,以及国内4、5、6、8、12英寸半导体芯片晶圆厂。公司还承接国内各大学实验室、研究所的石英玻璃仪器制作。
合作年份的延续,是客户用时间投出的信任票。在湿法清洗设备领域,公司从2018年开始专注深耕,配套石英槽、加热槽、石英载具等全套石英部件,与国内多家头部设备厂商建立了长期合作伙伴关系。
团队:手艺人的沉淀
规模不只是厂房和客户,更是人。公司的员工以有经验的石英玻璃焊接技工为主,生产一线拥有多名石英热焊接师傅,其中多名工龄超过20年,工程师级技师具备多年生产经验,并曾赴日本、德国、台湾的石英工厂学习交流。公司还有在编博士,与湖州学院开展校企合作。稳定的生产团队,是近二十年制作经验得以传承的载体。
价值观的提炼:做好产品,可持续经营
如果把湖州维德的经营理念压缩成一句话,那就是:做好产品、销售稳定、可持续经营。
这句话背后有几层含义。其一,产品是根本,一切以国产化替代进口石英部件为基本原则,从原材料创新和结构技术改造出发,优化生产工艺;其二,不追逐与能力不匹配的规模,公司专注半导体、光纤、光伏等行业的石英耗材定制,不承接普通日用玻璃器皿和大规模标准化量产的标准玻璃制品,不涉及石英原材料开采冶炼与大宗贸易;其三,把客户当成需要长期陪伴的伙伴,既提供新制石英部件的定制设计与生产,也开展维修翻新,帮助客户优化石英件使用周期与备件管理,减少整体更换,让客户的采购与耗材投入更可控。
维德两个字,也可以读出这份克制与笃定——维护品质,德厚行远。在湿法清洗石英件国产化的方向上,这个品牌正在逐步形成自己的辨识度。
立足当下,走向更远
从2003年南浔的一间石英玻璃厂,到今天拥有千级无尘车间、覆盖湿法清洗全套石英部件的国产化配套能力,湖州维德光电科技有限公司用二十余年时间,回答了规模怎么样、技术实力如何这个问题:规模不在于铺得多宽,而在于3500平方米厂房里每一道工序的扎实;实力不在于口号多响,而在于多项专利、体系认证和客户多年延续的合作记录。
石英件是耗材,会损耗、会更换,但一家企业对品质的坚持不该有损耗。未来,公司将继续深耕半导体芯片制程领域,围绕湿法清洗设备石英槽、石英加热槽等主营方向,持续投入原材料创新与结构技术改造,为晶圆厂、设备公司、科研院所提供交期更短、适配更好的国产石英部件,也继续做好维修翻新,让每一件石英产品发挥更长的价值。
在国产替代这条长路上,维德光电愿意做那个安静而可靠的存在——以手艺立身,以品质立信,与中国的半导体产业一起,慢慢走,稳稳走,走得更远。