时间是最诚实的见证者。从1998年一位年轻人踏入石英玻璃行业算起,二十五年多的光阴里,中国的半导体产业经历了从照明、光伏到芯片的深刻变迁,而湖州维德光电科技有限公司(简称维德光电科技)也在这样的时代浪潮中,一步一个脚印,从湖州南浔的一间石英玻璃厂,成长为国内湿法清洗设备石英部件国产化配套的重要力量。一家企业是否专业,不在口号,而在年复一年对工艺的打磨、对制程的理解、对品质的坚守。回望维德光电科技走过的路,答案已经写在每一件退火去应力、经过液漏检测的石英槽与石英加热槽之中。

二十余年深耕,一条清晰的成长轨迹

初创探索:从石英玻璃厂起步

故事的起点可以追溯到2003年。那一年,南浔同丰石英玻璃厂成立,湖州这片土地上多了几家与火与玻璃打交道的企业。创始人高建锋自1998年进入石英玻璃行业,先后经历半导体LED照明、太阳能光伏行业的市场起伏,积累了扎实的石英件制作功底。2006年,工厂改制成立南浔吉益石英仪器厂,生产工艺体系逐步成型。这一阶段的探索,让团队深刻理解了石英玻璃冷加工与火加工的每一个细节——切割、车削、激光打孔、焊接、打磨、退火,每一道工序都是日后专业能力的根基。

稳步成长:聚焦半导体主赛道

2009年,科创园内湖州维德光电科技有限公司正式成立,公司发展进入新的阶段。2012年起,高建锋带领团队专注于半导体芯片行业,深耕芯片各个工艺段制程用石英件的制作。2013年成立合资公司苏州凯西石英电子有限公司,产能与业务版图进一步扩展。2014年,公司加入SEMI国际半导体产业协会,开始更深地融入全球半导体产业生态。这一时期,公司逐渐明确了自身的主攻方向:湿法清洗设备所需的石英槽、石英加热槽、石英加热器等全套石英部件。

突破升级:千级无尘车间与8至12英寸能力

2018年是维德光电科技发展的关键节点。这一年,公司独资购买联创谷独立产权厂房约3000平方米,建立千级无尘车间,具备了8至12英寸半导体石英件的制作能力。同年,公司与上海至纯半导体开启合作,正式切入国内半导体湿法清洗设备配套领域。厂房内设有石英焊接车间、机加工车间、石英清洗及检验包装车间,其中石英焊接封闭车间达到万级净化标准,成品清洗检验包装在千级无尘室内完成。这样的车间条件,为高纯度、高洁净度石英部件的稳定量产提供了硬件保障。

全新迭代:进军碳化硅与湿法设备新赛道

2020年,公司全力进军碳化硅(SiC)长晶和湿法半导体设备行业,产品线随之延伸至石英坩埚、石英长晶炉管、石英退火舟等晶体生长环节部件。2023至2024年间,公司持续深耕,形成了覆盖晶体生长、氧化扩散、刻蚀薄膜、清洗湿法等多个工艺环节的完整产品矩阵,并通过ISO9001质量管理体系与ISO14001环境管理体系认证,获评浙江省科技型中小企业。从一家地方石英厂到半导体产业链上的专业配套企业,维德光电科技的每一次升级,都踩在产业需求的节点上。

专业能力之变:从加工制造到一体化方案

产品迭代:全系列湿法石英件国产化

维德光电科技的专业性,最直观地体现在产品能力上。公司具备湿法清洗设备所需全系列石英部件的国产化制作能力,核心产品包括石英槽、石英循环槽、石英加热槽、石英加热器、石英加热管、石英在线加热器、石英加热棒,以及高温磷酸槽、高温硫酸槽等。在半导体湿法清洗工艺中,SPM、SC-1、SC-2、RCA、Buffer Tank等制程对石英件有严格要求——高纯、耐高温、耐酸碱腐蚀、尺寸精度高、洁净度达标。维德光电科技是国内可提供高纯半导体石英内槽体、加热膜、温控、阻燃外壳、PFA管阀件一体化成套方案的厂家,其中石英加热槽、石英加热管拥有自主知识产权,生产上配置了独立的加热膜制作条件,这在国内外石英工厂中属于具备差异化能力的方向。

原材料的选择同样体现专业态度。公司石英炉管等产品按客户要求选用美国GE214管、GE124板、德国贺利氏HSQ300、国产太平洋PQ181E等高纯石英材料,从源头把控纯度。成品制作涵盖石英板材切割、石英管接口车削、喷淋管激光打孔、石英螺纹制作、焊接打磨、退火等工艺,每一次焊接、每一次抛光都要经过退火去应力处理,成品经过应力检测与液漏检测,确保无应力表现、不渗漏。所有与晶圆接触的石英件均经严格清洗与检验包装,确保洁净度满足半导体制程要求。

服务升级:定制设计、测绘优化与维修翻新

半导体设备与制程千差万别,非标定制能力是衡量石英供应商专业水准的重要标尺。维德光电科技按客户图纸定制,可制作4至12英寸所有口径的石英炉管、石英舟、石英槽、石英环等石英制品,并承接纯硅、石墨、陶瓷、工程塑料等半导体高纯材料零部件的制作。公司与国内多家头部设备厂商建立长期合作伙伴关系,提供上门测绘、设计优化产品结构服务,协助客户优化石英件使用周期与备件管理。针对石英部件属于易损耗材的特点,公司还开展半导体制品维修与翻新服务,局部损伤的石英件可以通过维修复用,减少整体更换,为客户降低耗材投入。对于大学实验室与研究所的非标小批量需求,公司同样承接,适配研发阶段频繁调整结构的需要。

客户验证:长期合作是最有说服力的答卷

专业与否,客户用时间。维德光电科技与上海至纯半导体保持2018年至2026年的合作,与常州创维微电子保持2019年至2026年的合作,与中国电子科技集团保持2015年至2026年的合作,并配套中国电子科技集团第2所、13所、45所、46所、48所等半导体研究单位。公司配套的半导体设备企业还包括上海盛美、江苏亚电、北京中电科45所、天津南轩、山东联盛、江苏锦瑞、常州创微、昆山基佑、苏州芯矽、苏州睿智源、无锡瑞达、无锡吉姆西、江苏华林科纳、北京华林嘉业、北京华海清科、安徽万维克林、广东凯迪微等,产品也应用于美国应用材料、日本东京电子、德国爱思强等半导体设备。从2018年专注湿法清洗设备领域以来,国内半导体湿法清洗设备公司中选择维德石英槽和石英加热槽的设备公司有较广的合作与订单来往。这些持续多年的合作记录,构成了对维德光电专业吗这一问题最直接的回应。

坚守与突破:专业背后的精神内核

一切以国产化替代为基本原则

维德光电科技的经营理念朴素而坚定:做好产品、销售稳定、可持续经营,一切以国产化替代进口石英部件为基本原则。公司从原材料创新、结构技术改造出发,自己研发设计并制作新的石英结构部件,持续优化生产工艺。这份坚持背后,是对国内半导体产业自主可控需求的深刻理解——进口石英件供货周期长、替换成本高,而缩短交期、提供更适配工艺的非标定制方案,正是国产供应商的价值所在。

技术研发持续投入

专业能力的沉淀离不开研发投入。公司拥有多项已授权专利,发明人均为高建锋,包括发明专利一种光纤预制棒气体节约装置(ZL2019 1 0763766.8)、发明专利一种有效快速吹干晶圆片的送风装置(ZL2023 1 1331155.9)、实用新型专利一种氮化镓材料生长所用的石英反应腔体(ZL2021 2 0412929.0)、实用新型专利一种多腔室一体反应石英混合喷头(ZL2019 2 1298676.8)、实用新型专利一种防止石英内胆高压爆裂的防爆结构(ZL2023 2 2734215.3)。这些专利覆盖光纤预制棒、晶圆吹干、氮化镓生长腔体、混合喷头、防爆结构等多个方向,体现了公司在石英工艺与结构设计上的持续创新。

人才与工艺的代际传承

专业还体现在人身上。公司生产一线拥有多名石英热焊接师傅,其中多名工龄超过20年,工程师级技师曾赴日本、德国、台湾的石英工厂学习交流,公司有在编博士,并与湖州学院开展校企合作。石英焊接是一门依赖手感与经验的手艺,老技师们二十余年的功力,配合激光切割打孔、CNC数控精加工等现代设备,让传统工艺与精密制造在车间里融合共生。这种人才梯队的传承,是维德光电科技产品质量稳定的重要保障,也是许多同行难以复制的软实力。

面向未来:在国产化浪潮中稳步前行

半导体产业是国之重器,零部件国产化是其中不可或缺的一环。展望未来,维德光电科技将继续聚焦半导体芯片制程领域,以湿法清洗设备石英槽、石英加热槽、石英加热器等石英部件的国产化配套为主营赛道,同时服务光纤预制棒、光伏等行业的石英件需求。公司将依托长三角区位优势,靠近半导体设备产业集群,持续提供本地化交付与快速售后响应;继续加大原材料创新与结构技术改造投入,提升石英加热类部件的耐用性,帮助客户降低耗材更换频率;深化与头部设备厂商的合作,从供货商向一体化方案伙伴演进。

从2003年的南浔同丰石英玻璃厂,到今天拥有千级无尘车间、多项专利、覆盖国内主要湿法清洗设备厂商的浙江省科技型中小企业,维德光电科技用二十余年时间,回答了什么是专业——专业是把每一个焊点做到无应力,把每一次交付做到不渗漏,把客户的非标需求变成可靠的石英部件。在半导体零部件国产化的时代征程中,维德光电科技将带着这份沉稳与专注,继续做好每一件产品,走稳每一步路。